提高機床校準時間方法解析 位移測量手段
1881年Michelson 發(fā)明了干涉儀。他后來在1907年為此獲得了諾貝爾物理獎。Michelson 干涉儀用白光作光源，并用了固定和可移動的反射鏡。Michelson 干涉儀通過計算干涉條紋一直被用來測量距離或比較距離。隨著激光的發(fā)明，單頻的氦氖激光取代了白光作為光源，并用二個角錐棱鏡代替了平面鏡。
單頻的氦氖激光束被一分束器分成二束光，一半光束通過一可移動的角錐棱鏡，另一半則反射到一固定的角錐棱鏡。二反射光束回來時在分束器相遇。將所有光路精密地調準后，這二相遇的光束就相互干涉，并產生干涉條紋。用一小面積的光電探測器計數條紋。每一周期的強度變化表示可移動角錐棱鏡行程的半波長。假如已知激光的波長，那么可移動角錐棱鏡行程也可地得到。單頻干涉儀的問題是對于噪聲太敏感。因此，從移動中無法辨別電噪聲還是增益漂移。
雙頻的干涉儀使用一雙頻的氦氖激光器，將二個不同頻率光束混合后產生一載波頻率。因此，攜帶的距離信息是以交流波形式而不是直流波形式。雙頻干涉儀的問題是需要笨重的永磁鐵以及精密的光學元件以穩(wěn)定激光頻率，保持偏振，并使回到激光諧振腔的散射光減到zui小。由于該系統(tǒng)體積笨重，并有大量的光學元件，因此測量時大部分機床需要打開機床罩。
激光多普勒校準系統(tǒng)
激光多普勒校準系統(tǒng)使用一激光多普勒位移測量儀（LDDM），該系統(tǒng)結合了微波雷達技術、多普勒效應以及光學外差技術。LDDM采用了電光、光學外差工藝及相位解調器來得到移動角錐的位置信息。
LDDM是用一氦氖激光束照射一反射鏡來測量位移的。當反射鏡移動時被反射的激光束發(fā)生頻率變化。由于被反射激光束的相位正比于反射鏡的位置，因此可以測量得到位置的變化。
對于LDDM來說，偏振及彌散光不是一個問題，也不需要精密的光學系統(tǒng)。鏡子可以隨意插入光路，簡單的反射鏡就可以用來反射激光束到任意的角度。
如何使用激光多普勒校準系統(tǒng)
要校準普通或者滾珠絲桿，在軸上放一刀片，馬達驅動絲桿觸發(fā)了位置傳感器。例如可以用四個位置傳感器來采集四套每轉的數據。位置傳感器送出一TTL脈沖到PCMCIA卡以觸發(fā)數據采集。不間斷地采集數據的關鍵是外部觸發(fā)器和數據采集與TTL觸發(fā)脈沖同步，也即同時采集數據。用四個位置傳感器測得的典型的滾珠絲桿的螺距誤差是每轉0.2英寸。因此在超過20英寸的絲桿上每英寸可以測20個數據。在這個例子中，熱膨脹誤差比螺距誤差小得多。
要校準數控機床的一個軸，將激光頭放置在床身上，反射鏡或者靶標被安置在主軸上。將激光束與常規(guī)靜態(tài)的激光校準一樣調整到平行與主軸。但是與通常每走一步要停5秒鐘一直走到終點不同，現在將主軸調整到可以從開始一直連續(xù)移動到終點而不需要任何停止。 序言：常規(guī)測量數控機床位移誤差的方法是靜態(tài)的---在每次測量間隔機器要停幾秒鐘穩(wěn)定下來，然后采集定位數據。對于小間距或長行程機床的測量，這意味著需要相當可觀的停機時間。而同樣的測量，采用不間斷的同步數據采集，僅需幾分鐘。事實上，不間斷的同步數據采集還可以測量更多的點，提供更多的細節(jié)且省時間。譬如，如果每25毫米間隔要停5秒鐘的話，1,250毫米的軸長以及5個來回的操作需要50分鐘以上的時間。
此外，靜態(tài)定位誤差通常是由于幾何尺寸、導軌以及結構剛性引起的。而一般不測量的動態(tài)定位誤差則是由伺服參數、諧振頻率以及加速度或減速度引起的。換句話說，因為機床在采集數據前停下來了，這就遺漏了伺服或動態(tài)誤差。理論上軌跡精度應該可以用動態(tài)位移誤差表來改進，而不是靜態(tài)位移誤差表。對于模具制造商來說，這一點特別重要，因為必須要保證模具腔與多種表面組成的復雜幾何形狀*一致。
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